LCP-25 kísérleti ellipszométer
Műszaki adatok
Leírás | Műszaki adatok |
Vastagság mérési tartomány | 1 nm ~ 300 nm |
Beesési szög tartománya | 30º ~ 90º , Hiba ≤ 0,1º |
Polarizátor és elemző metszésszöge | 0º ~ 180º |
Lemez szögskála | 2º skálánként |
Min.Vernier olvasása | 0,05º |
Optikai központ magassága | 152 mm |
Munkaszakasz átmérője | Φ 50 mm |
Befoglaló méretek | 730x230x290 mm |
Súly | Körülbelül 20 kg |
Alkatrészlista
Leírás | Menny |
Ellipszométer egység | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Fotoelektromos erősítő | 1 |
Photo Cell | 1 |
Szilícium-dioxid film szilícium hordozón | 1 |
Elemző szoftver CD | 1 |
Használati utasítás | 1 |
Írja ide üzenetét és küldje el nekünk