LCP-25 kísérleti ellipszométer
Bevezetés
A kézi elliptikus polariméter az extinkciós módszerrel méri a film vastagságát és törésmutatóját, és manuálisan szabályozza a vizsgálati folyamat eltérését és eltérési szögét. Az ellipszometriát széles körben használják a szilárd hordozón lévő dielektromos vékony film mérésére. A film vastagságának mérési módszerében a legvékonyabb és a legnagyobb pontossággal mérhető.
Specifikációk
Leírás | Specifikációk |
Vastagság mérési tartomány | 1 nm ~ 300 nm |
Beesési szög tartománya | 30º ~ 90º, Hiba ≤ 0,1º |
Polarizátor és analizátor metszésszöge | 0 ° ~ 180 ° |
Disk Angular Scale | Skálánként 2º |
Min. Vernier olvasása | 0,05º |
Optikai központ magassága | 152 mm |
Munka szakasz átmérője | Φ 50 mm |
Befoglaló méretek | 730x230x290 mm |
Súly | Körülbelül 20 kg |
Alkatrészlista
Leírás | Mennyiség |
Ellipsométer egység | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Fotoelektromos erősítő | 1 |
Photo Cell | 1 |
Szilícium-dioxid-film szilícium-hordozón | 1 |
Elemző szoftver CD | 1 |
Használati utasítás | 1 |
Írja ide az üzenetét, és küldje el nekünk